Wie schon gesagt wurde, für solche Grafiken sind eigendlich eher Vektor Zeichenprogramme geeignet (also kein Paint, Photoshop, Paintshop, Gimp).
Visio ist sicher toll dafür, Problem ist nur, entweder ist es teuer oder geklaut.
Mein Tip wäre das Zeichenmodul (Draw) von OpenOffice. Damit mache ich solche Sachen. Bibliotheken mit fertigen Symbolen gibt es leider nicht, aber mit ein wenig Gedul kann man sich schon ganz nette Sachen basteln. Alternativ kann man auch Pixelgrafiken (jpg, gif, tiff) dort mit einbinden.
Da das Programm ja nichts kostet würde ich sagen, anschauen lohnt sich. Übrigens ist auch das Textmodul mehr als brauchbar...
Grüße
Dirk